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一种多晶硅生产系统 

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申请/专利权人:巴彦淖尔聚光硅业有限公司

摘要:本申请的实施例涉及多晶硅生产技术领域,并提供一种多晶硅生产系统,其包括第一还原炉单元、第二还原炉单元和尾气回收单元,所述第一还原炉单元包括第一入料管道和第一尾气管道,所述第二还原炉单元包括第二入料管道和第二尾气管道,所述第一尾气管道分别与所述第二入料管道和所述尾气回收单元连接,所述第二尾气管道分别与所述第一入料管道和所述尾气回收单元连接。本申请具有提高三氯氢硅利用率及降低生产成本的效果。

主权项:1.一种多晶硅生产系统,其特征在于,包括第一还原炉单元100、第二还原炉单元200和尾气回收单元300,所述第一还原炉单元100包括第一入料管道101和第一尾气管道102,所述第二还原炉单元200包括第二入料管道201和第二尾气管道202,所述第一尾气管道102分别与所述第二入料管道201和所述尾气回收单元300连接,所述第二尾气管道202分别与所述第一入料管道101和所述尾气回收单元300连接。

全文数据:

权利要求:

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