龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：三菱电机株式会社
摘要：本公开涉及半导体装置的制造方法、半导体制造装置以及半导体装置，其目的在于提供能够应用于高温处理工序并能够防止晶圆的弯曲、破裂以及缺损的半导体装置的制造方法、半导体制造装置以及半导体装置。本公开的半导体装置的制造方法是将环状的框体与晶圆的外周部接合的半导体装置的制造方法，其具备：将晶圆和框体中的一方设置于工作台的工序；用压接机构的夹紧部保持晶圆和框体中的另一方的工序；通过原子照射使晶圆的外周部的表层和框体的表层活化的工序；以及用工作台和夹紧部夹住晶圆和框体，并且用压接机构压接活化后的晶圆的表层和框体的表层的工序，在压接后的晶圆与框体的接合界面形成有非晶体层。
主权项：1.一种半导体装置的制造方法，是将环状的框体与晶圆的外周部接合的半导体装置的制造方法，其中，所述半导体装置的制造方法具备：将所述晶圆和所述框体中的一方设置于工作台的工序；用压接机构的夹紧部保持所述晶圆和所述框体中的另一方的工序；通过原子照射使所述晶圆的外周部的表层和所述框体的表层活化的工序；以及用所述工作台和所述夹紧部夹住所述晶圆和所述框体，并且用所述压接机构压接活化后的所述晶圆的表层和所述框体的表层的工序，在压接后的所述晶圆与所述框体的接合界面形成有非晶体层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱电机株式会社 半导体装置的制造方法、半导体制造装置以及半导体装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号