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一种碳化硅长晶炉 

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申请/专利权人:湖北锦瓷新材料科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种碳化硅长晶炉,包括用于碳化硅长晶的炉体、入料管以及辅料管,炉体上方中间安装有入料管,入料管右后方安装有辅料管,入料管上方连接有入料筛箱,入料筛箱正面上方开设有两个屉腔,每个屉腔内分别安装有一个分料屉,两个分料屉内部下方分别安装有一个分料网,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设置入料筛箱、分料屉、分料网以及小型振动电机,能够在硅粉进入炉体前对硅粉中的颗粒进行筛分,防止颗粒进入炉体内影响单晶质量,通过设置滑入条、推拉把手以及安装槽,能够使分料屉在使用时便于拆卸和安装,从而便于取出筛分后存留在分料网上方的颗粒。

主权项:1.一种碳化硅长晶炉,包括用于碳化硅长晶的炉体100、入料管200以及辅料管300,所述炉体100上方中间安装有入料管200,所述入料管200右后方安装有辅料管300,其特征在于:所述入料管200上方连接有入料筛箱500;所述入料筛箱500正面上方开设有两个屉腔700,每个所述屉腔700内分别安装有一个分料屉800,两个所述分料屉800内部下方分别安装有一个分料网130,两个所述分料网130上表面中间分别安装时有一个小型振动电机140;两个所述屉腔700内部左右两侧分别开设有一个安装槽900,所述分料屉800左右两侧分别安装有一个滑入条110,所述分料屉800通过两个滑入条110与两个安装槽900滑动连接。

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权利要求:

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