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一种用于长晶炉的高温测量装置 

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申请/专利权人:合肥世纪金芯半导体有限公司

摘要:本实用新型提供一种用于长晶炉的高温测量装置,包括:炉壁、保护箱体、连接机构以及测温机构,炉壁左侧面开设有定位槽,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过增加保护箱体、滑槽、卡块及测温机构,测温时启动电动伸缩杆使升降挡板升起,拉动弹性拉绳使卡块外侧的凸起从浅卡槽旋转卡入深卡槽内,弹簧回弹使拉伸柱及主轴向右侧移动,滑轨沿着滑槽辅助直线运动,使测温传感器暴露至炉体内部,测温结束时旋转卡块使凸起卡入浅卡槽内,拉伸柱压缩弹簧使测温传感器进入保护箱体内侧,启动电动伸缩杆将升降挡板推下,从而提高测温准确性,通过增加伸缩定位槽、定位板、伸缩卡柱、杆孔、卡孔及嵌合杆,便于装置拆装。

主权项:1.一种用于长晶炉的高温测量装置,包括:炉壁100、保护箱体120、连接机构150以及测温机构230,其特征在于:所述炉壁100左侧面开设有定位槽110;所述炉壁100右侧面设有保护箱体120,所述保护箱体120内侧面前后两端均设有卡孔块,所述卡孔块靠近保护箱体120中心一端侧面开设有卡孔140,所述炉壁100左侧设有连接机构150,所述连接机构150中心设有中心管160,所述中心管160外侧面中心设有定位板170;所述定位板170右端前后两侧均设有伸缩卡柱190,所述中心管160右侧面设有两组滑槽220,所述中心管160左侧面前后两端均开设有杆孔,所述杆孔内侧设有嵌合杆290,所述中心管160内侧设有测温机构230且其左端设有卡块280,所述卡块280右侧设有拉伸柱270,所述拉伸柱270外侧设有弹簧260。

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