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检查装置、检查方法、学习完毕模型生成装置、检查用程序以及学习完毕模型生成用程序 

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申请/专利权人:日置电机株式会社

摘要:本发明提高电子零件的检查的可靠性。检查装置2使用学习完毕模型35计算出交流电阻的测定值的推定值Rse,其中,该学习完毕模型35用于使计算机发挥基于通过四端子法测定出的测定对象物的直流电阻的测定值Rdc4和通过二端子法测定出的测定对象物的直流电阻的测定值Rdc2,计算出通过二端子法测定出的测定对象物的交流电阻的测定值Rs的功能。

主权项:1.一种检查装置,具备:数据获取部,获取:通过四端子法测定出的测定对象物的直流电阻的第一测定值、通过二端子法测定出的所述测定对象物的直流电阻的第二测定值以及通过二端子法测定出的所述测定对象物的交流电阻的第三测定值;存储部,存储学习完毕模型,所述学习完毕模型用于使计算机发挥基于所输入的所述第一测定值和所述第二测定值计算出所述第三测定值的功能;以及推定部,基于存储于所述存储部的所述学习完毕模型,计算出与通过所述数据获取部获取到的所述第一测定值和所述第二测定值对应的所述第三测定值的推定值。

全文数据:

权利要求:

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