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一种晶圆运载车 

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申请/专利权人:捷螺智能设备(苏州)有限公司

摘要:本发明涉及晶圆盒运载技术领域,公开了一种晶圆运载车,所述驱动组件设置在车厢底部,用于驱动车厢位移。所述下接送盒装置设置在盒仓内,用于对晶圆盒进行收盒和推盒,所述下接送盒装置设置在晶圆盒底部,所述下接送盒装置包括多组通过驱动件做旋转滚动的导辊。所述上接送盒装置设置在晶圆盒左右两侧,用于配合下接送盒装置同步对晶圆盒进行收盒和推盒。通过设置上接送盒装置,与下接送盒装置同步对晶圆盒进行上料或下料,能提升晶圆盒在运动过程中的稳定性,提升对晶圆的稳定性。通过设置水平传感器,能实时监控运载车行径是否正确、是否出现车身倾斜。通过设置驱动组件,提升运载车行驶的稳定性。

主权项:1.一种晶圆运载车,包括车厢1、晶圆盒3和终端5,所述车厢1设有盒仓18,所述车厢1底部设有万向轮15,其特征在于:驱动组件4,所述驱动组件4设置在车厢1底部,用于驱动车厢1位移;下接送盒装置6,所述下接送盒装置6设置在盒仓18内,用于对晶圆盒3进行收盒和推盒,所述下接送盒装置6设置在晶圆盒3底部,所述下接送盒装置6包括多组通过驱动件做旋转滚动的导辊62;上接送盒装置7,所述上接送盒装置7设置在晶圆盒3左右两侧,用于配合下接送盒装置6同步对晶圆盒3进行收盒和推盒。

全文数据:

权利要求:

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