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申请/专利权人：先导薄膜材料(淄博)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种ZTO喷涂粉的制备方法，该方法先将氧化锌、氧化锡粉末混合、均质，得到粉体一，再将粉体一一次烧结、破碎，得到粉体二，随后将粉体二与水混合、研磨，得到浆料，最后将浆料喷雾造粒、二次烧结、破碎、过筛，得到ZTO喷涂粉，其中二次烧结的温度为1000～1400℃，二次烧结的时间为6～8h，本申请通过上述设计制得了一种具有良好的球形形貌的且具有良好的沉积率的ZTO喷涂粉，此外，本申请还公开了一种ZTO喷涂粉。
主权项：1.一种ZTO喷涂粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将氧化锌、氧化锡粉末混合、均质，得到粉体一；步骤2：将步骤1制得的粉体一一次烧结、破碎，得到粉体二；步骤3：将步骤2制得的粉体二与水混合、研磨，得到浆料；步骤4：将步骤3制得的浆料喷雾造粒、二次烧结、破碎、过筛，得到ZTO喷涂粉；所述步骤4中，二次烧结的温度为1000～1400℃，二次烧结的时间为6～8h。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(淄博)有限公司 一种ZTO喷涂粉及其制备方法
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