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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种ZTO靶材及其制备方法，属于镀膜材料技术领域。该制备方法为将ZnO粉末和SnO2粉末分别球磨形成各自的浆料；将两种浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉，进行冷等静压，获得素坯；在真空条件下对素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品；对氧化锌锡靶材半成品进行后处理得到靶材成品。本发明通过用不同的球磨处理得到适当粒径的ZnO和SnO2粉末，同时选择合适的分散剂和粘结剂，分别对两种粉末颗粒进行塑性包裹、表面改性，结合三段热压烧结工艺，得到气孔少、内部组织晶粒均匀细、纯度和致密度高、不容易开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。
主权项：1.一种ZTO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：将ZnO粉末和SnO2粉末分别加入去离子水进行球磨，形成ZnO浆料和SnO2浆料；球磨后的所述ZnO浆料中固体颗粒物的粒径为0.5μm~1.0μm；球磨后的所述SnO2浆料中固体颗粒物的粒径为≤0.2μm；S2：将所述ZnO浆料和SnO2浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉；所述二次球磨的时间为5~10h；所述混合造粒粉的粒径为10~20μm；S3：将所述混合造粒粉进行冷等静压，获得素坯；S4：在真空条件下对所述素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品；所述热压烧结为：以1.5-3℃min迅速升至500~600℃，保温3-5h；以1-2℃min升至800~850℃，保温1-3h；以0.5-2℃min升至1200~1300℃后开始加压，待压力达到20-25MPa后维持该温度和压力1-3h；待保温保压结束后逐渐卸去压力；S5：对所述氧化锌锡靶材半成品进行机加工切割，表面打磨，尺寸修整，获得满足尺寸要求的靶材成品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种ZTO靶材及其制备方法
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