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申请/专利权人：清华大学
摘要：本申请提供一种中介层及其测试方法、半导体结构。中介层包括测试区及功能区。中介层包括位于测试区及功能区的绝缘层和导电结构。绝缘层包括多个绝缘膜层；绝缘层的各开孔包括一个子开孔或两个以上子开孔；测试区及功能区分别设有开孔。导电结构包括多个导电部及多个再布线层；每一子开孔内设有一个导电部；任相邻两个绝缘膜层之间均设有再布线层；再布线层包括多个导线及多个导电块；至少一个开孔内的相邻两个导电部之间设有导电块，各导线分别与至少两个对应的开孔内的导电部接触；测试区及功能区分别设有至少一个导线及多个导电块；导电结构位于测试区的部分与位于功能区的部分绝缘；导电结构位于测试区的部分用于测试其是否存在短路及断路。
主权项：1.一种中介层，其特征在于，所述中介层包括测试区及功能区；所述中介层包括：绝缘层，位于所述测试区及所述功能区；所述绝缘层包括多个层叠设置的绝缘膜层；所述绝缘层设有多个开孔，各所述开孔包括一个子开孔或两个以上沿绝缘膜层的层叠方向排布的子开孔，每一所述子开孔贯穿一个所述绝缘膜层；部分所述开孔位于所述测试区，部分所述开孔位于所述功能区；导电结构，包括多个导电部及多个再布线层；每一所述子开孔内分别设有一个所述导电部；任相邻两个绝缘膜层之间均设有所述再布线层；各所述再布线层包括多个导线及多个导电块；所述导电块位于同一所述开孔内的相邻两个导电部之间，各所述导线分别与至少两个所述开孔相对应，且与位于对应的所述开孔内的一个所述导电部接触；至少一个所述导线及多个所述导电块位于所述测试区，至少一个所述导线及多个所述导电块位于所述功能区；所述导电结构位于所述测试区的部分与位于所述功能区的部分绝缘；所述导电结构位于所述测试区的部分用于测试其是否存在短路及断路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 中介层及其测试方法、半导体结构
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