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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明涉及密封件。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
主权项：1.一种密封件，该密封件被使用于基板保持件，该基板保持件具有用于使基板的至少一个面的至少一部分露出的多边形的开口，其特征在于，所述密封件构成为该密封件与所述基板的包括被露出部分的面接触，并被沿垂直于所述基板应处的平面的方向按压，并且构成为该密封件配置于密封件支承部，该密封件支承部设置于所述基板保持件的所述开口的外侧周围，所述密封件具备：密封主体，该密封主体与所述密封件支承部接触；以及密封唇，该密封唇从所述密封主体延伸并与所述基板的被露出面接触，a所述开口的边部附近的所述密封唇与所述开口的角部附近的所述密封唇相比，朝向外侧延伸，或者，b所述开口的边部处的所述密封唇的高度高于所述开口的角部处的所述密封唇的高度。
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