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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够支援对基板处理装置中的基板处理的处理内容进行规定的配方信息的设定。信息处理装置3A包括：目标处理片数受理部300，受理在基板处理装置中执行反复进行对多个基板的基板处理及搬送处理的处理动作时的每单位时间的基板的目标处理片数；装置信息获取部301，获取包含对执行处理动作时的搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息11的装置信息10；以及支援信息生成部302A，基于目标处理片数及装置信息10生成包含在基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息14。
主权项：1.一种信息处理装置，对基板处理装置的运转进行支援，所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：目标处理片数受理部，受理在所述基板处理装置中执行反复进行对多个所述基板的所述基板处理及所述搬送处理的处理动作时的每单位时间的所述基板的目标处理片数；装置信息获取部，获取包含对执行所述处理动作时的所述搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息的装置信息；以及支援信息生成部，基于由所述目标处理片数受理部受理到的所述目标处理片数、及由所述装置信息获取部获取的所述装置信息，生成包含在按照所述配方信息进行的所述基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法
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