龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国矿业大学(北京)
摘要：本发明公开了一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法，所述化学机械抛光液由1‑10wt.％的磨料、0.5‑5wt.％的氧化剂、10‑150mmolL的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成，所述络合剂为柠檬酸或柠檬酸盐。本发明的化学机械抛光液选用合适的氧化剂、络合剂种类和浓度配比，在抛光液中化学物质的化学反应和磨粒的机械磨损协同作用下，提高金属钛的材料去除速率，并获得优质光滑的表面在钴互连阻挡层钛的CMP工艺中具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液，其特征在于，由1-10wt.％的磨料、0.5-5wt.％的氧化剂、10-150mmolL的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成，所述络合剂为柠檬酸或柠檬酸盐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国矿业大学(北京) 一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号