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申请/专利权人：柿子技术公司
摘要：一种装置包括被配置为沿着运动路径横穿固定基座的平台；联接到平台的驱动器；以及可移动臂组件。可移动臂组件包括连接到驱动器的枢转基座、以及连接到枢转基座的第一连杆机构和第二连杆机构，每个连杆机构具有经由旋转接头连接的连杆，并且每个连杆具有至少一个末端执行器。平台被配置为在两个相反方向上沿着运动路径横穿固定基座，并且驱动器和可移动臂组件被配置为引起基板从第一基板保持区域、第二基板保持区域、第三基板保持区域或第四基板保持区域中的至少一者到相应基板工作站中的或从相应基板工作站的独立且同时的移动和转移。
主权项：1.一种装置，包括：平台，被配置为沿着运动路径横穿固定基座；驱动器，联接到所述平台；以及可移动臂组件，包括枢转基座，连接到所述驱动器，第一连杆机构，连接到所述枢转基座，所述第一连杆机构包括第一上连杆，通过第一旋转接头联接到所述枢转基座，所述第一上连杆包括具有至少第一基板保持区域的第一末端执行器，以及第一下连杆，通过第二旋转接头联接到所述枢转基座，所述第一下连杆包括具有至少第二基板保持区域的第二末端执行器，其中所述第一旋转接头与所述第二旋转接头基本上同轴，以及第二连杆机构，连接到所述枢转基座，所述第二连杆机构包括第二上连杆，通过第三旋转接头联接到所述枢转基座，所述第二上连杆包括具有至少第三基板保持区域的第三末端执行器，以及第二下连杆，通过第四旋转接头联接到所述枢转基座，所述第二下连杆包括具有至少第四基板保持区域的第四末端执行器，其中所述第三旋转接头与所述第四旋转接头基本上同轴；其中所述平台被配置为在两个相反方向上沿着运动路径横穿所述固定基座，并且其中所述驱动器和所述可移动臂组件被配置为引起基板从所述第一基板保持区域、所述第二基板保持区域、所述第三基板保持区域或所述第四基板保持区域中的至少一者到沿着所述运动路径定位的相应基板工作站中的独立且同时的移动和转移或从所述相应基板工作站的独立且同时的移动和转移；并且其中用于移动所述第一连杆机构或所述第二连杆机构中的至少一者的至少一个电机位于所述枢转基座、所述第一连杆机构或所述第二连杆机构中的至少一者中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 柿子技术公司 具有多个末端执行器的横穿机器人
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