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申请/专利权人：无锡红光微电子股份有限公司

摘要：本发明涉及一种用于键合工序的铜片吸附装置，属于铜片吸附技术领域，包括吸嘴和连接件，所述连接件上设置有通孔，所述吸嘴的顶部内凹形成安装槽，所述连接件与安装槽插接配合，所述通孔与安装槽连通，所述吸嘴的底部设置有吸附孔，所述吸附孔与安装槽连通，所述连接件上设置有支撑机构和清洁机构；发明通过支撑箱对吸嘴的支撑，提高吸嘴安装在连接件上的稳定性，防止吸嘴与连接件之间易产生偏移，而且，电磁铁通电时，使推杆自动清除吸附孔内的杂质，提高杂质清除便捷性，提高了工作效率，清除吸附孔内杂质时，从气孔排出的空气作用在第一凸起的底部和第二凸起的底部，在气流的作用下，吹离从吸附孔排出的杂质，提升了杂质清除效果。

主权项：1.一种用于键合工序的铜片吸附装置，包括吸嘴1和连接件2，所述连接件2上设置有通孔3，所述吸嘴1的顶部内凹形成安装槽4，所述连接件2与安装槽4插接配合，所述通孔3与安装槽4连通，所述吸嘴1的底部设置有吸附孔14，所述吸附孔14与安装槽4连通，其特征在于：所述连接件2上设置有支撑机构8和清洁机构9；所述吸嘴1包括主体11和第一凸起12，所述安装槽4设置在主体11的底部，所述第一凸起12设置在主体11的底部，所述第一凸起12的底部设置有第二凸起13，所述第一凸起12的底部和第二凸起13的底部均至少设置有一个吸附孔14，所述第一凸起12上的吸附孔14位于第二凸起13的左侧；所述连接件2包括限位部21、管体部22和插接部23，所述管体部22竖向设置在限位部21的顶部，所述插接部23固定设置在限位部21的底部，所述管体部22内的空腔延伸至插接部23的底部，所述限位部21与吸嘴1的顶部贴合，所述插接部23位于安装槽4内；所述支撑机构8包括两个支撑组件81，两个支撑组件81前后分布在吸嘴1的两侧；所述支撑组件81包括转动管811、支撑箱812、连接块813和两个连接管814，所述转动管811平行于左右方向，所述连接块813固定设置在连接件2上，所述转动管811活动穿设在连接块813上，所述支撑箱812位于转动管811的下方，所述连接管814竖向设置在转动管811和支撑箱812之间，所述连接管814的顶端固定设置在转动管811上，所述连接管814的底端与支撑箱812连接，所述支撑箱812的底部与主体11的底部抵靠；所述第一凸起12位于两个支撑箱812之间，所述支撑箱812的高度小于第一凸起12的厚度；所述清洁机构9包括固定板91，所述固定板91位于插接部23的下方，所述固定板91与插接部23之间设置有间隙，所述固定板91与插接部23固定连接，所述固定板91上设置有通槽92，所述通槽92上下贯穿，所述固定板91上设置有多个清除组件93，多个清除组件93与多个吸附孔14一一对应；所述清除组件93包括推杆931，所述推杆931竖向设置，所述推杆931与吸附孔14同轴布置，所述推杆931竖向活动穿过固定板91，所述推杆931的底端与固定板91的底部处于同一平面，所述推杆931的顶端固定设置在磁环932，所述磁环932与插接部23的底部抵靠，所述推杆931上套设有弹簧933，所述弹簧933位于固定板91和磁环932之间，所述弹簧933的两端分别与磁环932和固定板91连接，所述插接部23内设置有电磁铁。

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