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反射镜冷却补偿结构、同步辐射装置及自由电子激光装置 

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申请/专利权人:深圳综合粒子设施研究院

摘要:本发明提供了一种反射镜冷却补偿结构、同步辐射装置及自由电子激光装置,涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜冷却补偿结构包括反射镜本体、导热件及加热片;反射镜本体上设有反射面及第一凹槽,反射面及第一凹槽均沿反射镜本体的长度方向延伸,第一凹槽的开口朝上,且第一凹槽内填设有液态金属;导热件包括依次连接的冷却管及导热片,冷却管用于外接冷却水供水装置,导热片插入液态金属,且不与反射镜本体接触,导热片的长度与第一凹槽的长度相适配;加热片为多个,多个加热片均设置于导热片,且沿导热片的长度方向分布。本申请提供的反射镜冷却补偿结构,集成了冷却和补偿功能,满足第四代光源光束线对反射面的面要求。

主权项:1.一种反射镜冷却补偿结构,其特征在于,包括反射镜本体、导热件及加热片;所述反射镜本体上设有反射面及第一凹槽,所述反射面及所述第一凹槽均沿所述反射镜本体的长度方向延伸,所述第一凹槽的开口朝上,且所述第一凹槽内填设有液态金属;所述导热件包括依次连接的冷却管及导热片,所述冷却管用于外接冷却水供水装置,所述导热片插入所述液态金属,且不与所述反射镜本体接触,所述导热片的长度与所述第一凹槽的长度相适配;所述加热片为多个,多个所述加热片均设置于所述导热片,且沿所述导热片的长度方向分布。

全文数据:

权利要求:

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