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申请/专利权人：浙江吉进科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆片的转移搬送装置，包括输送轨道、移动座、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头；移动座安装在输送轨道上移动；升降机构安装在移动座上升降；水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动；搬运叉通过安装头安装在水平伸缩机构的移动部位上，搬运叉包括两条平行设置的托板，托板的长度方向平行于水平伸缩机构的伸缩方向，托板的一端与安装头固定连接；喷淋头的数量至少为一个，喷淋头安装在安装头上，喷淋头的出口朝向搬运叉的方向倾斜朝上设置，喷淋头通过软管连接用输水管，保持了晶圆片在搬运过程中的湿润，避免抛光液蒸发干燥，从而避免了晶体的析出，容易将晶圆片清洗干净。
主权项：1.一种用于晶圆片的转移搬送装置，其特征在于，包括输送轨道1、移动座2、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头25；所述移动座2安装在输送轨道1上沿着工艺路线移动；所述升降机构安装在移动座2上于竖直方向进行升降；所述水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动；所述搬运叉通过安装头23安装在水平伸缩机构的移动部位上，所述搬运叉包括两条平行设置的托板24，所述托板24的长度方向平行于水平伸缩机构的伸缩方向，所述托板24的一端与安装头23固定连接；所述喷淋头25的数量至少为一个，所述喷淋头25安装在安装头23上，所述喷淋头25的出口朝向搬运叉的方向倾斜朝上设置，所述喷淋头25通过软管连接用输水管。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江吉进科技有限公司 一种用于晶圆片的转移搬送装置
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