龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括机架、活动支架和清洗结构。活动支架可移动地设置在机架上，适于相对机架在第一方向和第二方向往复运动。清洗结构包括第一刷体，第一刷体通过第一驱动机构设置在活动支架上，第一驱动机构适于带动第一刷体相对活动支架转动。其中，第一刷体具有朝向晶圆的第一清洁面，第一清洁面的边缘设置有第一凹槽。利用本实用新型提供的晶圆清洁装置可以避免颗粒团聚现象的出现，提高清洁效果，并且第一刷体的结构可以做小，从而能够降低清洁成本。
主权项：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：机架；活动支架，可移动地设置在所述机架上，适于相对所述机架在第一方向和第二方向往复运动；清洗结构，包括第一刷体31，所述第一刷体31通过第一驱动机构设置在所述活动支架上，所述第一驱动机构适于带动所述第一刷体31相对所述活动支架转动；其中，所述第一刷体31具有朝向晶圆的第一清洁面311，所述第一清洁面311的边缘设置有第一凹槽312。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 晶圆清洗装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号