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申请/专利权人:中国科学院理化技术研究所
摘要:本实用新型提出一种用于生产高纯度氦气的除氖系统,具体涉及于气体纯化技术领域,所述用于生产高纯度氦气的除氖系统包括循环单元和净化单元,其中:所述循环单元包括压缩机、滤油装置、第一换热器、第二换热器、第一吸附器组、第三换热器、膨胀机和第四换热器;所述循环单元还包括液氮源,所述液氮源的管路连接所述第二换热器的一个入口,并从所述第二换热器出口连出至外部;所述净化单元包括第一换热器、第二换热器、第三换热器和第二吸附器组,本实用新型通过液氮源预冷以及膨胀机膨胀,实现原料氦气降温至20K,随后在20K温区利用第二吸附器组进行冷冻冷凝分离,可以获得氖气含量更低满足需求的高纯氦气。
主权项:1.一种用于生产高纯度氦气的除氖系统,其特征在于,包括循环单元和净化单元,其中:所述循环单元包括压缩机、滤油装置、第一换热器、第二换热器、第一吸附器组、第三换热器、膨胀机和第四换热器,所述压缩机出口端依次连接所述滤油装置、所述第一换热器、所述第二换热器、所述第一吸附器组、所述第三换热器、所述膨胀机和所述第四换热器,并从所述第四换热器的出口端依次连接所述第三换热器的另一侧、所述第一换热器和所述压缩机入口端形成回路;所述循环单元还包括液氮源,所述液氮源的管路连接所述第二换热器的一个入口,并从所述第二换热器出口连出至外部;所述净化单元包括第一换热器、第二换热器、第三换热器和第二吸附器组,气体入口依次连接所述第一换热器、所述第二换热器、所述第三换热器、所述第四换热器和第二吸附器组,并从所述第二吸附器组出口端依次连回所述第三换热器另一端,所述第一换热器另一端。
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