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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明涉及电机，包括：静止部，静止部包括一行线圈组件，线圈组件具有多个相位；可移动部，其包括一行永磁体，其中一行线圈组件具有第一长度、并且一行永磁体具有第二长度，其中第二长度小于第一长度，其中线圈组件被布置为与线圈组件对准的永磁体相互作用来生成驱动力；比较器，其将表示可移动部实际位置的位置测量信号与表示可移动部期望位置的设定点信号进行比较，来提供误差信号；运动反馈控制器，被配置为基于误差信号来提供控制信号；至少一个电流放大器，被配置为基于控制信号向线圈组件提供致动信号，其中该电机包括前馈装置，其中前馈装置被配置为基于设定点信号或从其导出的信号来提供电流放大器前馈信号，其中电流放大器前馈信号被提供给至少一个电流放大器，以补偿由于一个或多个线圈组件仅与永磁体部分地对准而引起的在一个或多个线圈组件上的不平衡的反电动势。
主权项：1.一种电机，包括：静止部，包括：一行线圈组件；可移动部，包括：一行永磁体，其中所述一行线圈组件具有第一长度并且所述一行永磁体具有第二长度，其中所述第二长度小于所述第一长度，其中所述线圈组件被布置以与和所述线圈组件对准的永磁体相互作用，来生成驱动力；比较器，将表示所述可移动部的实际位置的位置测量信号与表示所述可移动部的期望位置的设定点信号进行比较，来提供误差信号；运动反馈控制器，被配置为基于所述误差信号来提供控制信号；至少一个电流放大器，被配置为基于所述控制信号来向所述线圈组件提供致动信号，其中所述电机包括前馈装置，其中所述前馈装置被配置为基于所述设定点信号或从所述设定点信号导出的信号来提供电流放大器前馈信号，其中所述电流放大器前馈信号被提供给所述至少一个电流放大器来补偿由于所述线圈组件中的一个或多个线圈组件仅与所述永磁体部分地对准而引起的在所述一个或多个线圈组件上的不平衡的反电动势，以及其中所述前馈装置的校准和或调谐基于所述线圈组件的实际状态来执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 电机、双行程平台和光刻设备
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