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申请/专利权人：武汉昕微电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构，其包括安装架，所述安装架顶部的两侧均设置有夹板，两个夹板相对的一侧均设置有夹持机构，所述安装架顶部的两侧均设置有弹簧；所述夹持机构包括防滑垫、夹块和转柱，所述夹块靠近转柱的一侧与转柱固定连接，所述防滑垫靠近夹块的一侧与夹块固定连接，解决了现有对晶圆进行缺陷检测的夹持结构在使用时，需要多次转动螺纹杆，使得夹持板对晶圆进行夹持，多次转动螺纹杆需要消耗一定时间，影响对晶圆进行限位的效率，并且当夹持板对晶圆夹持后，会遮挡一部分晶圆，导致晶圆无法得到全面的缺陷检测，影响对晶圆的缺陷检测效果的问题。
主权项：1.一种用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构，其特征在于，所述用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构包括安装架1，所述安装架1顶部的两侧均设置有夹板3，两个夹板3相对的一侧均设置有夹持机构4，所述安装架1顶部的两侧均设置有弹簧8；所述夹持机构4包括防滑垫401、夹块402和转柱403，所述夹块402靠近转柱403的一侧与转柱403固定连接，所述防滑垫401靠近夹块402的一侧与夹块402固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉昕微电子科技有限公司 一种用于晶圆缺陷检测的晶圆辅助限位结构
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