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申请/专利权人：无锡先为科技有限公司
摘要：本发明提供了一种基材在位检测系统及其在位检测、传输方法，所述基材在位检测系统包括：处理腔，其内设有基座，所述基座至少包括一个载置槽，所述载置槽用于承载基材；与处理腔连接的传输腔，其内设有机械手，用于将基材传送至或传输出处理腔；所述处理腔与传输腔的连接处设有传输通道及位于传输通道上的第一门阀；关闭第一门阀，传输通道密闭，传输腔与处理腔相对隔离；打开第一门阀，传输通道开放，所述传输腔与处理腔连通；检测组件，其设置在传输腔内；所述检测组件通过传输通道获取处理腔内的图像数据，判断基座和或基材是否到达指定位置。本发明避免了处理腔内的复杂环境对检测结果的影响，提高了在位检测的准确度。
主权项：1.一种基材在位检测系统，其特征在于，包括：至少一个处理腔，其内设有基座，所述基座至少包括一个载置槽，所述载置槽用于承载基材，所述基材包括基片和或承载基片的载盘；与所述处理腔连接的传输腔，其内设有机械手，用于将基材传送至或传输出所述处理腔；所述处理腔与传输腔的连接处设有传输通道及位于所述传输通道上的第一门阀；关闭第一门阀，所述传输通道密闭，所述传输腔与所述处理腔相对隔离；打开第一门阀，所述传输通道开放，所述传输腔与所述处理腔连通；检测组件，其设置在所述传输腔内；所述检测组件通过所述传输通道获取所述处理腔内的图像数据，判断基座和或基材是否到达指定位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡先为科技有限公司 一种基材在位检测系统及其在位检测、传输方法
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