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摘要：本申请公开了一种硬质颗粒填充的CMP修整器及其制备方法，修整器包括基板，基板上具有微孔,修整器还包括突出基板表面的硬质颗粒及覆盖于基板和硬质颗粒上的化学气相沉积金刚石涂层，硬质颗粒与微孔的孔壁相接触，微孔的分布密度为0.25‑25个mm2，硬质颗粒莫氏硬度大于或等于6，金刚石涂层厚度3‑30μm，石墨含量0.5‑5%，氮元素量0.5‑8ppm。制备方法是首先制作具有微孔的基板，然后将硬质颗粒置入基板表面的微孔中，最后在基板表面和硬质颗粒表面上沉积金刚石涂层。
主权项：1.一种硬质颗粒填充的CMP修整器，修整器包括基板，其特征在于，基板上具有微孔,修整器还包括突出基板表面的硬质颗粒及覆盖于基板和硬质颗粒上的化学气相沉积金刚石涂层，硬质颗粒与微孔的孔壁相接触，微孔的分布密度为0.25-25个mm2，硬质颗粒的莫氏硬度大于或等于6，金刚石涂层厚度为3-30μm，金刚石涂层中石墨含量为0.5-5%，氮元素量0.5-8ppm；基板为碳化硅，硬质颗粒为金刚石单晶颗粒，化学气相沉积金刚石涂层为化学气相沉积多晶金刚石涂层，金刚石涂层的金刚石晶粒尺寸为0.5-15μm；硬质颗粒突出高度大于或等于10μm，且硬质颗粒突出高度小于或等于微孔的孔径与孔深的差。
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百度查询： 北京寰宇晶科科技有限公司 一种硬质颗粒填充的CMP修整器及其制备方法
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