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一种SAR ADC分段电容阵列版图结构 

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申请/专利权人:北京大学

摘要:本申请提供一种SARADC分段电容阵列版图结构,属于模数转换器技术领域,包括:次段版图区,包括多个阵列排布的单位电容和桥接电容,且次段版图区的单位电容与桥接电容之间通过一个冗余电容分隔;单位电容包括:基底以及形成在基底上的多层第一金属线层和多层第二金属线层,多层第一金属线层构成单位电容的上极板,多层第二金属线层构成单位电容的下极板;单位电容还包括至少一层第三金属线层,第三金属线层作为引出线与上极板走线连接;在次段版图区中,每两个单位电容共用一条上极板走线,且上极板走线位于两个单位电容之间。通过本申请提供的一种SARADC分段电容阵列版图结构,可以减小次段电容阵列的上极板寄生电容。

主权项:1.一种SARADC分段电容阵列版图结构,其特征在于,包括:次段版图区,包括多个阵列排布的单位电容和桥接电容,且所述次段版图区的单位电容与所述桥接电容之间通过一个冗余电容分隔;所述单位电容包括:基底以及形成在所述基底上的多层第一金属线层和多层第二金属线层,所述多层第一金属线层构成所述单位电容的上极板,所述多层第二金属线层构成所述单位电容的下极板;所述单位电容还包括至少一层第三金属线层,至少一层所述第三金属线层与多层所述第一金属线层连接,且所述第三金属线层作为引出线与上极板走线连接;在所述次段版图区中,每两个所述单位电容共用一条所述上极板走线,且所述上极板走线位于两个所述单位电容之间。

全文数据:

权利要求:

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