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申请/专利权人:广州华星光电半导体显示技术有限公司
摘要:本申请提供一种阵列基板和显示面板中,阵列基板包括衬底以及设置在衬底上的第一导电层、第二导电层、第一绝缘层、氧化物有源层,第一导电层包括间隔设置的源极和遮光电极,第二导电层包括与源极连接的阻挡电极,第一绝缘层包括与源极对应设置的第一过孔,氧化物有源层包括沟道部以及位于沟道部一侧的源极接触部,部分源极接触部设置于第一过孔内,且与阻挡电极连接,阻挡电极连接于源极接触部和源极之间,并对应第一过孔设置,以避免源极接触部与源极直接接触,而阻挡电极能够阻挡源极中的金属元素向源极接触部扩散,以避免源极中的金属元素扩散到氧化物有源层内形成深能级杂质,而导致器件性能退化,影响器件特征和偏置温度应力特性。
主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底;第一导电层,设置于所述衬底的一侧,所述第一导电层包括间隔设置的源极和遮光电极;第二导电层,设置于所述第一导电层远离所述衬底的一侧,所述第二导电层包括阻挡电极,所述阻挡电极与所述源极连接;第一绝缘层,设置于所述第一导电层远离所述衬底的一侧,所述第一绝缘层包括与所述源极对应设置的第一过孔;氧化物有源层,设置于所述第一绝缘层远离所述衬底的一侧,所述氧化物有源层包括沟道部以及位于所述沟道部一侧的源极接触部;在所述阵列基板的厚度方向上,所述沟道部与所述遮光电极对应设置,部分所述源极接触部设置于所述第一过孔内,且与所述阻挡电极连接,所述阻挡电极连接于所述源极接触部和所述源极之间,并对应所述第一过孔设置,所述阻挡电极配置为阻挡所述源极中的金属元素向所述源极接触部扩散;第二绝缘层,设置于所述氧化物有源层远离所述衬底的一侧,所述第二绝缘层与所述沟道部对应设置;第三导电层,设置于所述第二绝缘层远离所述衬底的一侧,所述第三导电层包括与所述沟道部对应设置的栅极。
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权利要求:
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