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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明提供了一种扁平式六自由度微动装置，属于纳米定位技术领域，包括：上运动平台，其上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件；第一压电陶瓷堆叠致动器，与第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，其上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；第二压电陶瓷堆叠致动器，与第二柔性组件的输入端对应相连；第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘；第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台。本发明实现全柔性检测，无需装配，且结构紧凑，体积小。
主权项：1.一种扁平式六自由度微动装置，其特征在于，包括：上运动平台，且在上运动平台上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件，其中，第一柔性组件的数量为三个，且三个第一柔性组件呈中心对称设置，第一柔性组件的输出端与上运动平台相连；三个第一压电陶瓷堆叠致动器，分别通过环氧树脂胶连接于上运动平台上，且三个第一压电陶瓷堆叠致动器的驱动端分别与三个第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，与上运动平台呈上下平行设置，且在下运动平台上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件，其中，第二柔性组件的数量为三个，且三个第二柔性组件呈中心对称设置，第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；三个第二压电陶瓷堆叠致动器，分别通过环氧树脂胶连接于下运动平台上，且三个第二压电陶瓷堆叠致动器的驱动端分别与三个第二柔性组件的输入端对应相连；三个第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘，其中，通过三个第一传感组件检测上运动平台三个方向上的位移矢量，形成X轴方向的位移、Y轴方向的位移以及绕Z轴转动的角度θZ；三个第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台，其中，通过三个第二传感组件检测检测下运动平台三个方向上的位移矢量，形成Z轴的位移，绕X轴转动的角度θX以及绕Y轴转动的角度θY。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种扁平式六自由度微动装置
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