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申请/专利权人:成都皓耘浩劢科技有限责任公司
摘要:本发明公开一种微波复合直流高压的等离子体激发源和电子设备,涉及微波技术领域。电源模块用于将电源电压进行降压转换后为微波产生模块、功率放大模块以及微波复合高压模块供电。微波产生模块用于产生初始微波信号;功率放大模块用于对初始微波进行同频率的功率放大,得到目标微波信号;微波复合高压模块用于将目标微波信号与目标直流高压复合之后进行输出。本发明实现微波等离子体自激发的同时,仅需提供较低的微波功率即可完成微波等离子体的自激发过程,解决了微波等离子体源设计复杂度大,成本昂贵的问题。无需外加辅助激发手段,不会引入金属等污染,可广泛应用于对等离子体纯净度要求高的医疗美容行业和其他工业生产领域。
主权项:1.一种微波复合直流高压的等离子体激发源,其特征在于,所述等离子体激发源包括:电源模块、微波产生模块、功率放大模块以及微波复合高压模块;所述电源模块,用于将电源电压进行降压转换后为所述微波产生模块、所述功率放大模块以及所述微波复合高压模块供电;所述微波产生模块,用于产生初始微波信号并传输至所述功率放大模块;所述功率放大模块,用于对所述初始微波进行同频率的功率放大,得到目标微波信号并传输至所述微波复合高压模块;所述微波复合高压模块,用于将所述目标微波信号与目标直流高压复合之后进行输出。
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权利要求:
百度查询: 成都皓耘浩劢科技有限责任公司 一种微波复合直流高压的等离子体激发源和电子设备
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