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申请/专利权人：武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司

摘要：本发明公开了一种高功率光学元件激光负载能力自动筛选装置及方法，用于高功率光学元件可靠性筛选；所述装置由高功率激光发射系统、多维电动位移平台、高功率激光截止系统、在线损伤探测系统、实时光束质量探测系统等组成。该装置利用高功率激光束对大口径光学元件进行自动化连续扫描辐照筛选，通过实时光束质量探测系统表征被测光学元件的表面形貌变化和通过在线损伤探测系统获取被测光学元件在激光辐照下其表面的温度变化信息，由此解决了热成像法无法检测被测光学元件本身表面带有的瑕疵问题和显微成像法、散射法等无法测量微小级别的热形变问题，且通过实时光束质量探测系统和在线损伤探测系统得出被测光学元件的激光负载能力。

主权项：1.一种高功率光学元件激光负载能力自动筛选装置，其特征在于，包括高功率激光发射系统1、多维电动位移平台2、实时光束质量探测系统3、在线损伤探测系统4和高功率激光截止系统5，其中；所述多维电动位移平台2包括用于承载被测光学元件的载物平台203，所述载物平台203上设有用于固定连接被测光学元件的工装；还包括多维度运动单元201，所述多维度运动单元201与所述载物平台203连接，且包括多个维度的运动转动轴，通过所述运动转动轴带动所述载物平台203运动；还包括控制箱体202，所述控制箱体202带有配套的计算机，通过其控制多维度运动单元201的多个维度的运动转动轴以配套的计算机上设定的速度及运动轨迹进行运动；所述实时光束质量探测系统3包括高光束质量激光器301、聚焦透镜303和CCD304；所述高光束质量激光器301发射高光束质量激光302辐射于被测光学元件上，且经被测光学元件反射至所述聚焦透镜303上，所述CCD304探测面位于所述聚焦透镜303的焦平面上，通过所述CCD304记录测量经被测光学元件反射的高光束质量激光302于聚焦透镜303上的光斑位置及大小，实现了表征被测光学元件的表面形貌变化；所述在线损伤探测系统4包括红外相机402及配套计算机403；通过所述红外相机402测量获取被测光学元件在激光辐照下其表面的温度变化信息，通过所述配套计算机403对所述温度变化信息储存分析并生成温度与时间曲线；通过所述CCD304记录的高光束质量激光302的光斑位置变化信息表征被测光学元件的表面形貌变化，且通过所述CCD304记录的高光束质量激光302的光斑位置变化信息结合所述红外相机402测量获取的温度变化信息，由此实现了所述配套计算机403得出被测光学元件的激光负载能力。

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