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申请/专利权人:深圳金美新材料科技有限公司
摘要:本实用新型提供一种防破裂的坩埚和蒸镀设备,该坩埚包括底壁和侧壁,底壁与侧壁的交接处的过度区域为椭圆弧线形。本实施例通过优化坩埚的过渡区域的结构,将原有的圆形过渡设计为椭圆过渡,从而较大程度的缓解过渡区域的应力集中问题,提高坩埚结构强度,避免了应力集中系数较高而导致坩埚破裂。
主权项:1.一种防破裂坩埚1,其特征在于,所述坩埚包括底壁11和侧壁12,所述底壁11与所述侧壁12的交接处的过度区域C为椭圆弧线形。
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