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氧化亚硅生产装置 

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申请/专利权人:杭州嘉悦智能设备有限公司

摘要:本实用新型涉及一种氧化亚硅生产装置,包括平台以及生产设备,生产设备包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室,高温室包括向上开口的高温炉体以及能够封闭高温炉体的高温炉盖,高温室内固设有原料装填量大于等于300kg的坩埚,低温室包括向上开口的低温炉体以及能够封闭低温炉体的低温炉盖;高温室以及低温室相对于平台固定,平台具有供操作者站立的平台板,平台板与高温炉体顶端以及低温炉体顶端之间的间距均小于1.6m;通过设置平台板与炉体顶端之间的间距小于1.6m的平台,以使得操作人员能够在平台板上进行生产设备的进出料操作,从而便于操作人员对高温炉体或低温炉体进行对应的进、出料操作,有效降低进出料操作难度。

主权项:1.一种氧化亚硅生产装置,其特征在于,包括平台500以及生产设备,所述生产设备包括依次连通的高温室100、过渡室200以及低温室300,所述高温室100包括向上开口的高温炉体110以及能够封闭所述高温炉体110的高温炉盖120,所述高温室100内固设有原料装填量大于等于300kg的坩埚,所述低温室300包括向上开口的低温炉体310以及能够封闭所述低温炉体310的低温炉盖320;所述高温室100以及低温室300相对于所述平台500固定,所述平台500具有供操作者站立的平台板510,所述平台板510与所述高温炉体110顶端以及所述低温炉体310顶端之间的间距均小于1.6m。

全文数据:

权利要求:

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