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摘要：本发明提出一种紫外光刻物镜及光刻机，基于光学成像技术领域，紫外光刻物镜包括由物侧到像侧依次布置的物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组以及像面；其中，第一透镜组包括第一透镜，第二透镜组包括第二透镜、第三透镜以及第四透镜，第三透镜组包括第五透镜以及第六透镜，第四透镜组包括第七透镜以及第八透镜，第五透镜组包括第九透镜、第十透镜以及第十一透镜，第六透镜组包括第十二透镜、第十三透镜以及第十四透镜，第七透镜组包括第十五透镜、第十六透镜以及第十七透镜，以使得物方数值孔径达到0.09，像方有效视场达到25mm。本方案通过采用十七枚透镜，成本低、效率高、曝光面积大。
主权项：1.一种紫外光刻物镜，其特征在于，具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述紫外光刻物镜包括由物侧到像侧依次布置的物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组以及像面；其中，所述第一透镜组包括光焦度为负的第一透镜，所述第二透镜组包括光焦度为正的第二透镜、光焦度为正的第三透镜以及光焦度为正的第四透镜，所述第三透镜组包括光焦度为负的第五透镜以及光焦度为负的第六透镜，所述第四透镜组包括光焦度为正的第七透镜以及光焦度为正的第八透镜，所述第五透镜组包括光焦度为负的第九透镜、光焦度为正的第十透镜以及光焦度为正的第十一透镜，所述第六透镜组包括光焦度为正的第十二透镜、光焦度为正的第十三透镜以及光焦度为负的第十四透镜，所述第七透镜组包括光焦度为正的第十五透镜、光焦度为正的第十六透镜以及光焦度为负的第十七透镜，以使得所述紫外光刻物镜的物方数值孔径达到0.09，像方有效视场达到25mm。
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