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申请/专利权人：海南师范大学

摘要：本发明公开了一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，该激光器沿光路方向依次包括：泵浦源、第一耦合光学系统、V型腔以及环形腔；其中：所述V型腔包括：第一分臂、第二分臂以及第一分臂与第二分臂相交处的镜片M；所述第一分臂上设有激光晶体；所述第二分臂上依次设有镜片M2和LBO倍频晶体。该激光器利用V型腔对基频光进行腔内二倍频，提高了基频光的功率密度和倍频效率，同时利用环形腔对二倍频光进行腔内谐振四倍频，提高了二倍频光在倍频晶体内的功率密度和倍频效率，同时环形腔为行波腔，利于单频激光在腔内谐振提高了倍频效率，最终获得了高功率228.5nm深紫外激光。

主权项：1.一种基于V型腔和环形腔结构的全固态准三能级228.5nm激光器，其特征在于，沿光路方向依次包括：泵浦源、第一耦合光学系统、V型腔以及环形腔；其中：所述V型腔包括：第一分臂、第二分臂以及第一分臂与第二分臂相交处的镜片M；所述第一分臂上设有激光晶体；所述第二分臂上依次设有镜片M2和LBO倍频晶体；所述泵浦源发出泵浦光，经所述第一耦合光学系统进行整形；入射至所述激光晶体上产生光谱线；所述光谱线在所述V型腔内振荡，并经所述LBO倍频晶体进行二倍频处理，得到二倍频激光；所述二倍频激光输入至所述环形腔，在所述环形腔内进行谐振四倍频处理，输出228.5nm脉冲激光；还包括滤光整形组件，所述滤光整形组件设于所述V型腔与所述环形腔之间；所述滤光整形组件沿光路方向依次包括：滤光片、反光片以及第二耦合光学系统，所述二倍频激光经所述滤光片滤除杂光，并经所述反光片调整光路传播方向后，射入所述第二耦合光学系统进行整形；其中，所述激光晶体为Nd:YVO4激光晶体，所述Nd:YVO4激光晶体的尺寸为4×4×5mm3，Nd3+的掺杂浓度为0.1%；所述Nd:YVO4激光晶体的输入端面上镀有介质膜M1，其输出端面上镀有介质膜S2，所述介质膜M1的光学参数为AR@808nm1064nm，HR@914nm；所述介质膜S2的光学参数为AR@914nm1064nm1342nm；所述环形腔包括镜片M3、镜片M4、镜片M5、镜片M6以及BBO倍频晶体，所述镜片M3与镜片M4以及所述镜片M5与镜片M6分别相对于同一竖直中心线镜像设置，所述BBO倍频晶体设于所述镜片M5与镜片M6之间；所述镜片M3与所述镜片M4的间距为40~50mm；所述镜片M5与镜片M6的间距为70~90mm；所述镜片M3与镜片M5的间距为30mm。

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