龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
摘要：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开了一种喷嘴装置及刻蚀机。该喷嘴装置包括反应腔和喷嘴组件，反应腔的腔口盖设有石英盖；喷嘴组件穿设于石英盖的中心处，喷嘴组件包括固定环体和滑动环体，固定环体的一端插设于石英盖的圆形凹槽内，滑动环体转动穿设于固定环体内，且滑动环体的一端穿过石英盖伸入反应腔内，滑动环体的该端的外周面沿周向均匀设置有多个石英管，石英管和滑动环体的内腔连通，石英管的周壁设有多个沿轴向间隔分布的出气孔，出气孔朝向反应腔的底壁或侧壁。本实用新型提供的刻蚀机包括上述喷嘴装置，该喷嘴装置能使晶片表面的刻蚀速率更加均匀，并有效减少晶片表面的颗粒数量，提高良率。
主权项：1.喷嘴装置，其特征在于，包括：反应腔100，所述反应腔100的腔口盖设有石英盖200；喷嘴组件300，穿设于所述石英盖200的中心处，所述喷嘴组件300包括固定环体310和滑动环体320，所述固定环体310的一端插设于所述石英盖200的圆形凹槽内，所述滑动环体320转动穿设于所述固定环体310内，且所述滑动环体320的一端穿过所述石英盖200伸入所述反应腔100内，所述滑动环体320的该端的外周面沿周向均匀设置有多个石英管330，所述石英管330和所述滑动环体320的内腔连通，所述石英管330的周壁设有多个沿轴向间隔分布的出气孔331，所述出气孔331朝向所述反应腔100的底壁或侧壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东中图半导体科技股份有限公司 喷嘴装置及刻蚀机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号