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申请/专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
摘要：本申请涉及一种单片晶圆清洗装置喷嘴机构，属于晶圆生产设备技术领域。本申请中的单片晶圆清洗装置喷嘴机构，喷管能够随滑动座一同升降，也可以发生转动，从而将喷管对准要清洗的晶圆片，清洗液通过连接管内的管道、转角安装块内的流道、喷管，最终通过喷管喷出。喷管一端伸入转角安装块内，通过调节所述调节安装块与喷管的相对位置从而调节所述喷管位于伸入转角安装块内的长度，进而可以方便地调节喷管位于转角安装块外的部分的长度，使得若干个喷管更容易对齐。且管道均设置在连接管内，能够起到保护管道，防止管道干涉其他运动部件的作用。
主权项：1.一种单片晶圆清洗装置喷嘴机构，其特征在于，包括：安装座1；滑轨2，沿高度方向设置在所述安装座1上；滑动座3，设置在滑轨2上；第一驱动件8，设置在安装座1上，用于驱动所述滑动座3沿所述滑轨2上进而使所述滑动座3升降；第二驱动件4，设置在滑动座3上；连接管5，沿高度方向布置，内部中空，能够被所述第二驱动件4带动而转动；转角安装块12，设置在连接管5的顶端；调节安装块10，设置在所述转角安装块12上；喷管6，为若干个，设置在所述调节安装块10上，所述喷管6一端伸入转角安装块12内，通过调节所述调节安装块10与喷管6的相对位置从而调节所述喷管6位于伸入转角安装块12内的长度，进而调节喷管6位于转角安装块12外的部分的长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡亚电智能装备有限公司 一种单片晶圆清洗装置喷嘴机构
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