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切割总成及线切割机 

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申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司

摘要:本实用新型涉及线切割技术领域,具体涉及一种切割总成及线切割机。本申请旨在解决现有的线切割机存在的切割效率低的问题。为此目的,本申请的切割总成包括:切割框架;主辊组件,主辊组件设置于切割框架上,切割线绕设于主辊组件上形成线网;收集装置,连接于切割框架并位于线网围设形成的空间内部,收集装置形成有顶部敞开的容纳腔,容纳腔用于存储脱胶液并,以便对切割完成的晶棒进行浸泡脱胶,并收集脱胶后的晶片。本申请通过在切割框架上设置收集装置,在切割过程中即可实现对切割完成的晶棒的不停机浸泡脱胶和收集,有利于大幅提升线切割机的切割效率。

主权项:1.一种切割总成,其特征在于,所述切割总成包括:切割框架;主辊组件,所述主辊组件设置于所述切割框架上,切割线绕设于所述主辊组件上形成线网;收集装置,连接于所述切割框架并位于所述线网围设形成的空间内部,所述收集装置形成有顶部敞开的容纳腔,所述容纳腔用于存储脱胶液,以便对切割完成的晶棒进行浸泡脱胶,并收集脱胶后的晶片。

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权利要求:

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