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摘要：本发明公开了一种多自由度对位装置，所述多自由度对位装置包括多自由度对位装置主体，多自由度对位装置主体内设有X向驱动部以及用于驱动多自由度对位装置主体Z向移动的Z向驱动部，多自由度对位装置主体内活动连接有Y向驱动部，所述Y向驱动部包括与所述多自由度对位装置主体滑动连接的龙门架，所述龙门架至少一侧沿Y方向滑动连接有第一工作组件；所述多自由度对位装置主体下方设有第二工作组件，所述第二工作组件上设有与所述多自由度对位装置主体连接的微动装置，本申请的多自由度对位装置内包含移动和定位执行结构的XY运动平台，包含移动和定位晶圆结构的XY向微动结构，包含调整产品高度的升降结构，实现了将双龙门结构的紧凑型组合，大幅降低高频运动部分的质量，减少了设备的振动，进一步提高了设备对位的精度。
主权项：1.一种多自由度对位装置，包括多自由度对位装置组件80，其特征在于，所述多自由度对位装置组件80包括多自由度对位装置主体804，所述多自由度对位装置主体804一侧设有用于驱动多自由度对位装置主体804Z向移动的Z向驱动部806，所述多自由度对位装置主体804内设有X向驱动部801、Y向驱动部802，所述Y向驱动部802通过X驱动部801与所述多自由度对位装置主体804沿X方向滑动连接；所述Y向驱动部802包括与所述多自由度对位装置主体804滑动连接的龙门架8021，所述龙门架8021一侧沿Y方向滑动连接有第一工作组件809；所述多自由度对位装置主体804下方设有第二工作组件803，所述第二工作组件803上设有与所述多自由度对位装置主体804连接的微动装置8032，所述第二工作组件803位于所述第一工作组件809下方。
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百度查询： 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 一种多自由度对位装置
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