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摘要：本发明公开了一种可变形电子束偏转控制系统、偏转系统及偏转方法，偏转控制系统包括图形处理单元、数据生成单元、偏转控制单元、束闸驱动单元、成形偏转驱动单元、主场偏转驱动单元、子场偏转驱动单元、位置测量单元和工件台驱动单元；图形处理单元连接数据生成单元和偏转控制单元；数据生成单元连接至各偏转驱动单元；偏转控制单元通连接至各偏转驱动单元；位置测量单元和工件台驱动单元连接至图形处理单元。本发明具有提高掩模版作图效率和作图精度等优点。
主权项：1.一种可变形电子束偏转控制系统，其特征在于，包括图形处理单元101、数据生成单元、偏转控制单元102、束闸驱动单元107、成形偏转驱动单元108、主场偏转驱动单元109、子场偏转驱动单元110、位置测量单元105、工件台驱动单元106；图形处理单元101，用于接收服务器发送过来的作图数据并进行预处理，产生校正数据，并进行剂量补偿；数据生成单元，用于接收图形处理单元101的曝光数据并生成偏转坐标数据，并将偏转坐标数据实时发送到各偏转驱动单元以驱动对应偏转器；偏转控制单元102，用于接收和发送曝光控制指令，以实现偏转总量计数、偏转稳定时间计算决策，以及偏转实时同步控制；束闸驱动单元107，用于产生固定电平的开关信号，控制束闸偏转器202的打开或关闭，从而控制电子束的通断；成形偏转驱动单元108，用于控制电子束在成形偏转器204内偏转，从而产生不同形状和尺寸的束斑；主场偏转驱动单元109，用于控制电子束在主场偏转器206内偏转；子场偏转驱动单元110，用于控制电子束在子场偏转器207内偏转；工件台驱动单元106，用于驱动工件台209达到指定位置；位置测量单元105，用于测量工件台209位置并反馈给图形处理单元101以实现工件台209位置的闭环控制。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种可变形电子束偏转控制系统、偏转系统及偏转方法
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