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摘要：本申请涉及籽晶生长的技术领域，公开了多籽晶转动机构，包括上板和下板，所述上板开设有中间孔，转动机构还包括安装于所述上板和所述下板之间的输入轴、主动齿轮、以及三组从动齿轮组，输入轴穿过中间孔和主动齿轮同轴固定连接，每组从动齿轮组的从动齿轮具有多个且以所述主动齿轮的圆心为中心圆周间隔分布，三组所述从动齿轮组的从动齿轮位于不同直径位置，其中一组所述从动齿轮组的从动齿轮和所述主动齿轮啮合；转动机构还包括过渡齿轮组，所述过渡齿轮组的过渡齿轮以主动齿轮的圆心周向间隔分布，所述过渡齿轮还和其他另外两组的从动齿轮啮合，所述过渡齿轮可拆卸安装于所述上板和所述下板之间。本申请能够提高转动机构的容错率。
主权项：1.多籽晶转动机构，其特征在于：包括上板（1）和下板（2），所述上板（1）开设有中间孔（11），转动机构还包括安装于所述上板（1）和所述下板（2）之间的输入轴（3）、主动齿轮（4）、以及三组从动齿轮组，所述输入轴（3）穿过中间孔（11）和所述主动齿轮（4）同轴固定连接，每组从动齿轮组的从动齿轮（51）具有多个且以所述主动齿轮（4）的圆心为中心圆周间隔分布，三组所述从动齿轮组的从动齿轮（51）位于不同直径位置，其中一组所述从动齿轮组的从动齿轮（51）和所述主动齿轮（4）啮合；转动机构还包括过渡齿轮组，所述过渡齿轮组的过渡齿轮（61）以主动齿轮（4）的圆心周向间隔分布，和所述主动齿轮（4）啮合的从动齿轮（51）和所述过渡齿轮（61）一一对应且相互啮合，所述过渡齿轮（61）还和其他另外两组的从动齿轮（51）啮合，所述过渡齿轮（61）可拆卸安装于所述上板（1）和所述下板（2）之间。
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百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 多籽晶转动机构
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