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摘要:本申请公开了一种精密离心机转臂动态半径变化测量装置及方法,涉及精密离心机参数高精度检测技术领域。该装置的第一中空直角棱镜和第二中空直角棱镜分别设置于精密离心机转臂末端和转臂中段,第一中空直角棱镜与第三中空直角棱镜等光程,第二中空直角棱镜与第四中空直角棱镜等光程;第一中空直角棱镜形成的第一测量束与第三中空直角棱镜形成的第一参考束经分光棱镜后发生干涉,第二中空直角棱镜形成的第二测量束与第四中空直角棱镜形成的第二参考束经分光棱镜后发生干涉,产生两路干涉条纹;处理模块根据两路干涉条纹获得转臂半径变化量。本申请能够实现精密离心机转臂自身长度变化的精确测量。
主权项:1.一种精密离心机转臂动态半径变化测量装置,其特征在于,包括:激光发射模块、分光棱镜、第一中空直角棱镜、第二中空直角棱镜、第三中空直角棱镜、第四中空直角棱镜、两个成像模块和处理模块;第一中空直角棱镜和第二中空直角棱镜均位于分光棱镜的透射光路上,第三中空直角棱镜和第四中空直角棱镜均位于分光棱镜的反射光路上,两个成像模块均位于分光棱镜的干涉光路上;第一中空直角棱镜设置于精密离心机转臂末端,第二中空直角棱镜设置于精密离心机转臂中段;第一中空直角棱镜和第二中空直角棱镜沿透射光路上的光束直径方向错开;第三中空直角棱镜和第四中空直角棱镜沿反射光路上的光束直径方向错开;第一中空直角棱镜与第三中空直角棱镜等光程,第二中空直角棱镜与第四中空直角棱镜等光程;所述激光发射模块用于沿精密离心机转臂长度方向向分光棱镜出射探测光;所述分光棱镜用于将入射的探测光在透射光路与反射光路上分成透射光束与反射光束;所述第一中空直角棱镜用于接收并反射透射光束,形成第一测量束;所述第二中空直角棱镜用于接收并反射透射光束,形成第二测量束;所述第三中空直角棱镜用于在接收到反射光束后反射,形成第一参考束;所述第四中空直角棱镜用于在接收到反射光束后反射,形成第二参考束;第一测量束与第一参考束经分光棱镜后发生干涉,产生一路干涉条纹;第二测量束与第二参考束经分光棱镜后发生干涉,产生另一路干涉条纹;两路干涉条纹分别同时成像至两个成像模块;两个成像模块均与处理模块连接,所述处理模块用于根据两个成像模块的干涉条纹图像,确定精密离心机的转臂末端光程变化量和转臂中段光程变化量,并将转臂末端光程变化量减去转臂中段光程变化量,获得转臂的总伸长量,作为转臂半径变化量。
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百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种精密离心机转臂动态半径变化测量装置及方法
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