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一种用于微压差检测的电容传感器 

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摘要:本发明公开了一种用于微压差检测的电容传感器,该电容传感器包括传感器本体、背板层焊盘、振膜层焊盘及至少一个支座;支座、背板层焊盘及振膜层焊盘均设置于传感器本体的下侧并对传感器本体进行支撑;传感器本体包括振膜层及背板,振膜层与背板之间设有感应间隙,背板朝向振膜层一侧的边缘向下弯折并与振膜层的表面相抵接;背板上开设有多个背板通孔。上述的电容传感器,通过振膜层感应外界微小的气压变化,通过感应振膜层因微小形变所引起振膜层与背板之间电容的变化获取传感信息,从而实现对微小气压变化进行准确检测。

主权项:1.一种用于微压差检测的电容传感器,其特征在于,所述电容传感器包括传感器本体、背板层焊盘、振膜层焊盘及至少一个支座;所述支座、所述背板层焊盘及所述振膜层焊盘均设置于所述传感器本体的下侧并对所述传感器本体进行支撑;所述传感器本体包括振膜层及背板,所述振膜层与所述背板之间设有感应间隙,所述背板朝向所述振膜层一侧的边缘向下弯折并与所述振膜层的表面相抵接;所述背板上开设有多个背板通孔;所述背板层焊盘与所述背板及所述振膜层固定连接,所述振膜层焊盘与所述振膜层固定连接。

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