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摘要：本发明涉及磁控溅射真空镀膜技术领域，且公开了一种基于等离子体负载电流态势感知的快速精准控弧电流方法，包括：1负载电流要素提取。采集镀膜沉积过程中运行状态信息；2负载电流态势理解。针对负载电流要素提取所提供的数据信息中隐含的相关性关系、数据特殊性进行深度挖掘，充分理解负载电流变化规律，是对提取信息的深度理解；3负载电流态势预测。采用CNN‑GRU模型算法学习经态势理解后的数据高层特征，挖掘长时间序列前后关系，实现负载电流变化趋势预测；4快速精准弧电流控制策略。将预测值融合传统比例积分控制形成具有前馈功能的复合控制，通过负载电流前馈实现对电流尖峰的抑制，提升沉积膜层质量。
主权项：1.一种基于等离子体负载电流态势感知的快速精准控弧电流方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：负载电流要素提取在真空镀膜沉积运行环境中，面向负载运行状态信息采集，包括实时电流数据、电压数据、频率数据、腔体内压强、气体流量和环境温度等信息，以此信息构建时间序列，是实现电流态势感知的数据基础；步骤2：负载电流态势理解针对负载电流要素提取所提供的数据信息中隐含的相关性关系、数据特殊性进行深度挖掘，充分理解负载电流变化规律，是对提取信息的深度理解；步骤3：负载电流态势预测采用CNN-GRU模型算法学习经态势理解后的数据高层特征，挖掘长时间序列前后关系，实现负载电流变化趋势预测；步骤4：快速精准弧电流控制策略将预测值融合传统比例积分控制形成具有前馈功能的复合控制，通过负载电流前馈实现对电流尖峰的抑制，防止电源进入保护状态，从而保证工艺过程负载电流恒定，提升沉积膜层质量。
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百度查询： 中山安信电气有限公司 一种基于等离子体负载电流态势感知的快速精准控弧电流方法
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