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一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层及其制备方法,所述涂层包括多层纳米晶金属钽层和多层陶瓷硼化钽层,所述纳米晶金属钽层和所述陶瓷硼化钽层交替设置,不同位置处所述纳米晶金属钽层的厚度和所述陶瓷硼化钽层的厚度不同并形成梯度结构。本发明采用上述的一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层,在磁控溅射方法下通过控制溅射时间调控不同位置处纳米晶金属钽层和陶瓷硼化钽层的占比,实现了在保留传统金属陶瓷复合多层涂层优点的同时克服了其硬度显著下降的缺点,提升了耐磨性。

主权项:1.一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层,其特征在于:所述涂层包括多层纳米晶金属钽层和多层陶瓷硼化钽层,所述纳米晶金属钽层和所述陶瓷硼化钽层交替设置,不同位置处所述纳米晶金属钽层的厚度和所述陶瓷硼化钽层的厚度不同并形成梯度结构;所述纳米晶金属钽层的厚度沿所述涂层生长方向呈连续梯度减小;所述陶瓷硼化钽层的厚度沿所述涂层生长方向呈连续梯度增加。

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