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摘要：本发明公开了一种六氟化钨的制备装置、系统及其方法，包括反应筒组件，所述反应筒组件的上部设置有进粉组件，所述反应筒组件的下部设置有布气组件，所述反应筒组件的下部和进粉组件之间设置有用于进行粉末循环的粉料循环组件，所述进粉组件包括与反应筒组件顶部固定连接的储料斗，所述储料斗下部设置有分散组件，所述储料斗顶部设置有密封盖，所述密封盖上设置有用于驱动分散组件旋转的动力组件；本发明可以配合设置的动力组件，将钨粉均匀的分散开，并配合设置的升降杆和挡盘，结合凸轮槽以及套筒上的凸销，可以间歇的对分散组件下部进行遮挡，实现间歇性的供料，有助于钨粉更加充分的反应。

主权项：1.一种六氟化钨的制备装置，包括反应筒组件（1），其特征在于，所述反应筒组件（1）的上部设置有用于钨粉进料的进粉组件（2），所述反应筒组件（1）的下部设置有用于NF3气体进气的布气组件（4），所述反应筒组件（1）的下部和进粉组件（2）之间设置有用于进行粉末循环的粉料循环组件（3）；所述进粉组件（2）包括与反应筒组件（1）顶部固定连接的储料斗（201），所述储料斗（201）下部设置有分散组件（205），所述储料斗（201）顶部设置有密封盖（202），所述密封盖（202）上设置有用于驱动分散组件（205）旋转的动力组件，所述反应筒组件（1）内部靠近分散组件（205）下部位置处设置有环形导气罩（102），所述反应筒组件（1）侧壁靠近环形导气罩（102）位置处设置有连通其内部的出气管（103）；所述分散组件（205）包括分料块（2051），所述分料块（2051）上部和下部均为锥型结构，所述分散组件（205）沿其外周面设置有等距离呈环形分布的螺旋沟道（20511），所述分料块（2051）下部设置有可以随着分散组件（205）转动而上下移动的挡盘（2052），所述挡盘（2052）下部设置有等距离呈环形分布的扇形孔（2053），所述挡盘（2052）呈锥状结构，所述挡盘（2052）内侧下部中间位置处设置有吹料管头（2054），所述吹料管头（2054）侧壁设置有等距离呈环形分布的导向槽（20541），所述吹料管头（2054）的外周面上设置有等距离呈环形分布的吹料孔（20542），所述分料块（2051）下部中间位置处设置有供吹料管头（2054）插入的插孔，且插孔内设置有与导向槽（20541）相适配的凸楞，所述分料块（2051）上部设置有连通插孔的转动管（203），所述粉料循环组件（3）与动力组件形成传动配合；挡盘（2052）下部设置有升降杆（206）。

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百度查询： 福建德尔科技股份有限公司 六氟化钨的制备装置、系统及其方法