龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，包括机械臂，机械臂的表面设置有翻转机构用于增加晶圆传输效率，翻转机构包括伸展单元，安装在机械臂的内部，用于提升晶圆传输量，本实用新型涉及传输设备技术领域。该化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，通过在支撑柱的表面固定连接有斜板，所述斜板的底部与机械臂转动连接，固定连接在机械臂底面的转盘，开设在转盘中心处的凹槽，解决了传输晶圆时，前后步骤所用机器的出料口与进料口高度以及取放方式因机器生产厂家设计会有差异，在进行拿取放置时不能够扭转一定的角度，在放置时可能会造成边角磕碰，导致晶圆受损，增加生产成本的问题。
主权项：1.一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，包括机械臂1，其特征在于：所述机械臂1的表面设置有翻转机构用于增加晶圆传输效率，所述翻转机构包括：伸展单元2，安装在机械臂1的内部，用于提升晶圆传输量，所述伸展单元2包括支撑柱21，且支撑柱21的顶端固定连接有固定杆22，所述支撑柱21的表面固定连接有斜板23，所述斜板23的底部与机械臂1转动连接，且机械臂1围绕支撑柱21转动；分控单元3，安装在支撑柱21的表面，用于控制多个部件联合运行驱动单元4，安装在支撑柱21的底部，用于抬高机械臂1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张跃锋 一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号