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摘要：本实用新型公开了一种压阻自感应原子力显微镜扫描器，包括十字移动部、基础板和Z移动部，所述十字移动部设置在基础板内，Z移动部与基础板侧边上的X‑Y位移输出端口连接；十字移动部包括X‑Y弹性移动铰链，X‑Y弹性移动铰链在X移动组件和Y移动组件的作用下沿基础板X、Y方向移动，Z移动部中的Z弹性移动铰链在Z移动组件的作用下沿基础板Z方向移动。优点，安装有探针的探针安装座设置在Z移动部上，通过Z移动部内的Z弹性铰链带动探针Z向运动，把Z移动部安装在基础板的外部，与十字移动部连接，保证了扫描器能在X、Y、Z三个方向上移动的同时也增大了探针安装和拆取的空间，操作方便，避免了探针拆装过程中探针损坏的问题。
主权项：1.一种压阻自感应原子力显微镜扫描器，其特征在于：包括十字移动部（1）、基础板（5）和Z移动部（6），所述十字移动部（1）设置在基础板（5）内，Z移动部（6）与基础板（5）侧边上的X-Y位移输出端口（42）连接；十字移动部（1）包括X移动组件（2）、Y移动组件（3）和X-Y弹性移动铰链（4），所述X-Y弹性移动铰链（4）在X移动组件（2）和Y移动组件（3）的作用下沿基础板（5）X、Y方向移动，带动设置在X-Y位移输出端口（42）的Z移动部（6）沿基础板（5）X、Y方向移动，Z移动部（6）包括Z移动组件（62）和Z弹性移动铰链（63），所述Z弹性移动铰链（63）在Z移动组件（62）的作用下沿基础板（5）Z方向移动。
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百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 压阻自感应原子力显微镜扫描器
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