龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及半导体激光器技术领域，具体提供一种高散热效率的面阵VCSEL，包括周期性排布的发光单元阵列，相邻发光单元之间存在较深的刻蚀沟壑，每个发光单元均设有衬底、DBR结构、有源层、电流限制层、电极以及设置在每个发光单元侧面和连通区域的绝缘层，在绝缘层的全部区域镀有石墨烯，或者根据热仿真结果，仅在热分布区域镀石墨烯，形成图案化的石墨烯散热层。本发明能够有效优化面阵VCSEL的局部散热问题，平衡不同发光单元间的温差，避免芯片局部发热严重，降低器件的性能。
主权项：1.一种高散热效率的面阵VCSEL，包括衬底以及设于所述衬底上的第一DBR，其特征在于，所述第一DBR上设有多个发光单元，所述发光单元包括：有源层，其用于提供激光增益，所述有源层的上方和下方均设有间隔层；电流限制层，其设于所述有源层内，用于限制电流路径；第二DBR，其设于所述有源层上方的电流限制层的上表面，所述第二DBR的对光反射率小于所述第一DBR的对光反射率；第一电极和第二电极，分别设于所述衬底的下表面和所述第二DBR的上表面；所述发光单元的侧表面及相邻发光单元的底部连通平面上均设有绝缘层，并在所述绝缘层上设有石墨烯散热层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉光半导体科技有限公司 一种高散热效率的面阵VCSEL
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号