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摘要：本发明属于氧化镓薄膜制备技术领域，公开了一种氧化镓异质外延薄膜的制备方法，包括：制备呈熔融状态的硫酸镓铵水合物；利用呈熔融状态的硫酸镓铵水合物制备前驱体溶液；将前驱体溶液分阶段旋涂至蓝宝石衬底上后在真空环境中退火，得到在预设晶体方向上具有优先取向的氧化镓薄膜。本发明使用硫酸镓铵水合物制备前驱体溶液，从而避免其为晶体状影响后续氧化镓薄膜的取向，进一步地，本发明采用分阶段旋涂的方式，限定所使用的衬底为蓝宝石衬底以及旋涂后在真空环境中退火，从而可得到在预设晶体方向上具有优先取向的氧化镓薄膜，该薄膜具有优良的化学物理性质和热稳定性，在日盲光电探测和电子器件制造等方面具有重要的应用价值。
主权项：1.一种氧化镓异质外延薄膜的制备方法，其特征在于，包括：步骤1、制备呈熔融状态的硫酸镓铵水合物；步骤2、利用所述呈熔融状态的硫酸镓铵水合物制备前驱体溶液；步骤3、将所述前驱体溶液分阶段旋涂至蓝宝石衬底上后在真空环境中退火，得到在预设晶体方向上具有优先取向的氧化镓薄膜，具体包括：步骤3.1、将所述前驱体溶液分阶段旋涂至蓝宝石衬底上；步骤3.2、重复步骤3.1多次，得到上覆凝胶层的蓝宝石衬底；步骤3.3、将所述上覆凝胶层的蓝宝石衬底在真空环境中退火，得到在预设晶体方向上具有优先取向的氧化镓薄膜，退火温度为800℃~900℃，退火时间为1h~1.5h。
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百度查询： 内蒙古工业大学 氧化镓异质外延薄膜的制备方法
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