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申请/专利权人：山东大学
申请日：2024-12-27
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119363066A
专利技术分类：.不用压电、电致伸缩或磁致伸缩材料的谐振器的结构特点[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法，属于微机电系统调控技术领域，包括在探测电压下测得薄膜微谐振器的基础模态和高频模态；在基础模态处施加泵浦电压，实现对高频模态的振幅增强；在基础模态处施加泵浦电压的同时，使用激光对薄膜微谐振器进行加热，完成对温度的检测。本发明只需要一个信号发生器输出一个低频且低电压的泵浦信号对薄膜微谐振器进行调制，即可实现对薄膜微谐振器高频模态的振幅增强以及温度灵敏度的提升，原理简单，操作简便。
专利权项：1.一种利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在探测电压下测得薄膜微谐振器的基础模态和高频模态；S2：在基础模态处施加泵浦电压，实现对高频模态的振幅增强；S3：在基础模态处施加泵浦电压的同时，使用激光对薄膜微谐振器进行加热，完成对温度的检测。
百度查询： 山东大学 利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法
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