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申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-04-09

公开（公告）日：2020-10-27

公开（公告）号：CN111834274A

专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]

专利摘要：提供扩展装置、扩展方法，高效率地实施扩展片的收缩。该扩展装置对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含被加工物、粘贴于该被加工物的扩展片以及供该扩展片的外周侧粘贴的环状框架，该扩展装置具有能够对扩展片进行扩展的扩展单元以及对扩展片进行加热而使其收缩的片收缩单元，该片收缩单元包含热风喷出口、空气提供路、对该空气提供路的内部进行加热的加热单元以及对来自空气提供源的空气的提供和阻断进行控制的阀，该片收缩单元将该阀打开而向该空气提供路提供该空气，能够从该热风喷出口喷射加热的该空气，该片收缩单元通过将该阀关闭而能够不使该加热单元停止而停止从该热风喷出口喷射加热的该空气。

专利权项：1.一种扩展装置，其对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含被加工物、粘贴于该被加工物的该扩展片以及供该扩展片的外周侧粘贴的环状框架，其特征在于，该扩展装置具有：框架保持单元，其能够对该被加工物单元的该环状框架进行保持；扩展单元，其能够对具有被该框架保持单元保持的该环状框架的该被加工物单元中所包含的该扩展片进行扩展；以及片收缩单元，其对具有被该框架保持单元保持的该环状框架的该被加工物单元中所包含的该扩展片的位于该被加工物的外周与该环状框架的内周缘之间的区域进行加热而使该扩展片的该区域收缩，从而减小通过该扩展单元进行扩展而产生了松弛的该扩展片的该松弛，该片收缩单元包含：热风喷出口，其与该扩展片面对；空气提供路，其一端与该热风喷出口连通，并且另一端与空气提供源连接；加热单元，其对该空气提供路的内部进行加热，由此对从该空气提供源提供的空气进行加热；阀，其对来自该空气提供源的空气的提供和阻断进行控制；以及开关，其对该加热单元的加热和加热的停止进行切换，该片收缩单元将该阀打开而从该空气提供源向该空气提供路提供该空气，在该空气提供路中利用该加热单元对该空气进行加热，由此能够从该热风喷出口喷射已加热的该空气，该片收缩单元将该阀关闭而阻断从该空气提供源向该空气提供路提供空气，由此能够不使该加热单元停止而停止从该热风喷出口喷射已加热的该空气。

百度查询： 株式会社迪思科 扩展装置、扩展方法