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申请/专利权人:嘉兴岱源真空科技有限公司
摘要:一种电弧离子镀的圆环靶材。所述电弧离子镀的圆环靶材包括靶材,磁靴,中心磁铁,以及电磁线圈。所述靶材包括本体,以及通孔。所述中心磁铁位于所述通孔内且与所述通孔的内侧壁间隔设置,所述中心磁铁用于提供轴向的磁场,所述中心磁铁上粘贴有一层防有害物质蒸发层。所述中心磁铁的磁场方向与所述电磁线圈之间形成会切磁场。中心磁铁使得电子弧斑在运动到所述通孔的边缘时,不会掉落到所述通孔中导致放电中断,而是会被磁约束至靶材的边缘,这样运动区域最大,靶材利用率高,又可以改善弧斑运动,提高膜层品质。所述靶材呈环形结构来代替目前大量使用的圆盘靶材,以使靶材利用率更合理,弧板运动更弥散均衡。
主权项:1.一种电弧离子镀的圆环靶材,其特征在于:所述电弧离子镀的圆环靶材包括一个靶材,一个位于所述靶材一侧的磁靴,一个设置所述磁靴上的中心磁铁,以及一个设置在所述靶材的外围的电磁线圈,所述靶材呈环形结构并包括一个本体,以及一个设置在所述本体的中心位置的通孔,所述中心磁铁位于所述通孔内且与所述通孔的内侧壁间隔设置,所述中心磁铁用于提供轴向的磁场,所述中心磁铁上粘贴有一层防有害物质蒸发层,所述中心磁铁的磁场方向与所述电磁线圈之间形成会切磁场。
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权利要求:
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