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申请/专利权人：常州工学院
摘要：本发明公开了一种用于机械臂芯片封装和电路装配的CDM静电防护装置，机械臂的前端抓手机构或者后端滑轨机构中嵌入式地安装有静电防护装置，静电防护装置包括电介质模块、离子风枪，电介质模块的前端和后端均绝缘地嵌入于前端抓手机构或者后端滑轨机构中，离子风枪朝向等效电容的上极板出风。本发明通过采用非接触式的静电电荷去除装置，在避免静电放电损害芯片和电路的同时，也减少了因物理接触机械臂、芯片和电路产生的额外风险；可实时监测机械臂和芯片表面的静电电荷水平；可以与机械臂和芯片封装电路装配系统集成；具有轻量化和紧凑性的特点，以适应机械臂和芯片封装电路装配系统的空间限制。
主权项：1.用于机械臂芯片封装和电路装配的CDM静电防护装置，其特征在于，所述机械臂包括前端抓手机构，所述前端抓手机构连接于若干活动臂的前端，所述前端抓手机构包括机械臂触手和最前端的活动臂，所述机械臂触手通过机械臂触手连接轴连接于最前端的活动臂上；所述前端抓手机构中嵌入式地安装有静电防护装置，所述静电防护装置包括电介质模块、离子风枪，所述电介质模块的前端和后端均绝缘地嵌入于前端抓手机构中；此时，电介质模块前端部分的前端抓手机构构成等效电容的上极板，所述离子风枪朝向该上极板出风；或者，所述机械臂还包括后端滑轨机构，所述前端抓手机构通过若干活动臂与后端滑轨机构相连，所述后端滑轨机构包括旋转基座、机械臂底座和机械臂滑轨，所述旋转基座的一端与最后端的活动臂相连，另一端与机械臂底座相连，机械臂底座通过滑轮安装于机械臂滑轨上；所述后端滑轨机构中嵌入式地安装有静电防护装置，所述静电防护装置包括电介质模块、离子风枪，所述电介质模块的前端和后端均绝缘地嵌入于后端滑轨机构中；此时，前端抓手机构、活动臂以及电介质模块前端部分的后端滑轨机构构成等效电容的上极板，所述离子风枪朝向该上极板出风。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州工学院 用于机械臂芯片封装和电路装配的CDM静电防护装置
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